未发现异常现象，加上后机床坐标也同到原点（终点），但工件精度严重超差，往往是由以下几种原因造成的。
(1)工件变形。应考虑消除残余应力、改变装夹方式及用其他辅助方法弥补。
(2)运动部件干涉。如工作台被防护部件（如“皮老虎”、罩壳等）强力摩擦，甚至顶化，造成超差，应仔细检查各部部件运动是否干涉。
(3)丝杠螺母及传动齿轮配合精度、间隙超差，应榆查上作台移动精度。
(4) X、Y轴T作台拖扳垂直度超差，应检查x、Y轴垂直度。
(5)电极丝导向轮（或导向器）导向精度超差，应检查导向轮（上导轮）或导向器的上作状态及精度。
(6)加T中各种参数变化太大，应考虑采用供电电源稳压等措施。